현대 전자 정보 기술의 핵심 기초로서 반도체 산업은 5G 통신, 인공 지능 및 새로운 에너지 차량과 같은 신속한 부문의 개발에 의해 주도되는 장비 기술의 지속적인 반복 및 업그레이드를 목격하고 있습니다. 특히 고급 반도 제조 공정을 포함하는 고급 반도 제조 공정, 결정적 영점 성 생성, 및 결정, 그리고 결정, 그리고 결정, 그리고 결정적 분위기, 그리고 결정. 핵심 구성 요소의 고온 저항, 부식 저항 및 열 충격 저항 .에 대한 근거리가 거의 요구됩니다.
반도체 제조의 재료 성능 한계에 직면하여, 고급 세라믹 재료는 전략적 중요성을 얻고있다 . 주요 예는 박막 증착 및 고온 확산과 같은 프로세스에 사용되는 중요한 흑연 구성 요소이며, 여기서 기판 캐리어 및 가열 요소로서 작용하는., 전통적인 도전을 나타내는 전통적인 도전에 작용한다. 가스, 그들은 표면 부식 및 입자 흘림 . .이기도합니다. 이것은 성분 수명을 크게 줄일뿐만 아니라 흑연 입자로 웨이퍼 표면을 오염시켜 생산 수율에 심각하게 영향을 미칩니다 ..
이러한 문제를 해결하기 위해, 실리콘 카바이드 (SIC)는 탁월한 열 화학적 안정성, 높은 열 전도성, 산화 저항성, 부식 저항성, 부식 저항성 및 흑연 전도도와 유사한 열 팽창 계수를 향상시키고 열 전도도를 향상시키고 열 팽창 계수를 개선하고 열 팽창 계수를 개선하고 열 팽창 계수와 함께 흑연 구성 요소 .를위한 획기적인 코팅 재료로 등장했습니다. 균일 성 .이 혁신적인 솔루션은 반도체 제조의 장기적인 기술적 장애물을 극복하여 고급 프로세스의 효율성과 신뢰성을 높이기위한 길을 열어 .입니다.
우수한 세라믹 시간
실리콘 카바이드 (SIC) 코팅 산업은 주로 세 가지 주요 측면에서 나타나는 매우 높은 진입 장벽에 직면하고 있습니다. 독점 제조 기술, 장기간 개발 및 인증주기, 그리고 확립 된 공급망을 관통하는 데있어 극심한 어려움 . 현재, 현재는 국가와 일본과 같은 선진국에 의해 주로 지배적이며, 중국의 공급 업체가 주도적으로 지배적입니다. 산업 .