미세하고 극도로 정교한 반도체 분야에서는 모든 링크가 재료와 장비에 대해 거의 엄격한 요구 사항을 제시합니다. 결과적으로 반도체 장비에는 수많은 정밀 세라믹 부품이 필요합니다. 고정밀-통기형 도가니는 반도체 장비 제조의 높은 품질과 신뢰성을 보장하는 핵심 공정 캐리어입니다.
챔버 인서트는 일반적으로 알루미나(Al2O3), 탄화규소(SiC)와 같은 고급 세라믹 재료로 만들어집니다. 챔버 인서트는 반도체 칩 제조, 집적 회로 패키징 및 광전지 생산에 사용되는 진공 공정 장비(예: CVD, PVD, 에칭 및 확산로)의 반응 챔버 내에 설치되는 중요한 소모성 부품입니다.
세라믹 링은 다양한 산업 공정에서 중요한 역할을 하는 세라믹 링을 지지하고 고정하는 데 자주 사용되는 산업용 액세서리입니다. 세라믹 링 홀더는 일반적으로 내구성과 안정성을 보장하기 위해 높은 강도로 제작됩니다.- 세라믹 진공 척은 고품질 결과를 달성하기 위해 정확한 위치 지정과 물체의 안전한 고정이 필수적인 다양한 산업 응용 분야에서 필수적인 구성...