반도체 산업을위한 SIC 도자기

• 실리콘 카바이드 세라믹

  탄화 규소 세라믹은 정전기를 소산하는 능력을 얻기 위해 특수 처리를 거친 기능성 세라믹의 일종입니다. 이들의 주요 목적은 완전한 전기 전도성이 아니라 특정 범위 내에서 표면 저항을 제어하는 ​​것입니다.

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• 실리콘 카바이드 트레이

  탄화규소 트레이는 탄화규소 세라믹 소재로 제작된 고성능-내하중-가마 가구 또는 공정 캐리어입니다.

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• 전도성 세라믹 노즐

  전도성 세라믹 노즐은 몇 가지 주목할만한 기능과 용도를 갖춘 특수 부품입니다. 세라믹 노즐은 일반적으로 ZTA, 알루미나, 지르코니아 또는 질화 규소와 같은 재료로 만들어집니다. 이 세라믹은 고온, 화학물질 및 마모에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다.

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• SiC 세라믹 박스

  SiC 세라믹 박스는 기계적 강도와 경도가 우수하여 내구성과 기계적 응력 및 충격에 견디는 능력을 제공합니다. SiC 세라믹 박스는 내화학성이 우수하여 쉽게 부식되거나 손상되지 않고 다양한 화학적 환경에서 사용하기에 적합합니다.

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• 실리콘 카바이드 포커스 링

  화학기상증착(CVD) 제조 시스템은 현재의 탄화규소보다 우수한 화학기상증착 탄화규소를 생산합니다. 고성능-SiC의 높은-생산성 이점에는 제조 장비의 서비스 수명 연장, 가동 중지 시간 감소, 오염 제거, 수율 증가 등이 포함됩니다.

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