업계의 문제점: "초크 포인트"의 대상이 되는 핵심 자료
한 반도체 장비업체 구매담당자는 “세라믹 부품의 해외 출하를 기다리느라 3주 동안 생산을 중단한 적도 있다”고 털어놨다. 건식 식각 및 박막 증착과 같은 중요한 반도체 공정에서 산화 이트륨 세라믹은 탁월한 플라즈마 부식 저항성, 고순도 및 뛰어난 열 안정성으로 인해 대체할 수 없는 재료입니다.
그러나 오랫동안 고{0}}순도, 고성능{1}}산화 이트륨 세라믹은 일본, 미국 및 기타 국가의 몇몇 회사에 의해 독점되어 왔습니다. 이로 인해 높은 가격, 긴 배송 주기(일반적으로 3~6개월), 맞춤화 요구 사항에 대한 느린 응답 등의 문제가 발생했습니다. 특히, 글로벌 공급망이 지속적으로 재편되고 있는 가운데, 이 중요한 물질에 대한 독립적인 통제를 달성하는 것이 반도체, 신에너지, 의료 등 국내 고급 제조 산업의 공통 관심사가 되었습니다.-
기술적 혁신: "실험실"에서 "생산 라인"으로의 현지화 여정
최근 국내 소재 기업들은 테이프 캐스팅 및 가스 압력 소결 공정의 최적화를 통해 산화 이트륨 세라믹 제조 기술에서 일련의 발전을 이루었습니다.
순도 혁신: 주요 불순물 원소(Fe, Na, K 등)를ppm 수준으로 제어하여 99.9%~99.99%의 다양한 순도 수준의 제품을 안정적으로 대량 생산하여 반도체 장비 소재의 엄격한 청정도 요구 사항을 충족합니다.
성능 개선:플라즈마 내식성은 기존 알루미나 세라믹에 비해 10배 이상 향상되었으며, CF4/O2 플라즈마 환경에서 사용 수명이 3,000시간을 초과합니다. 제3자-자 테스트를 통해 유전 상수(ε≒10–12) 및 열팽창 계수(7.5–8.5×10⁻⁶/K)와 같은 주요 매개변수가 국제 수준에 도달했음을 확인했습니다.
크기 혁신:직경이 500mm를 초과하는 대형 통합 이트륨 산화물 세라믹 부품을 성공적으로 준비하면 대형 부품 소결 중 변형 및 균열과 관련된 문제가 해결되었습니다.{1}}
시장 가치:전체 수명주기 비용의 이점이 분명해졌습니다.
제조 기업의 경우 자재 선택이 단순한 "조달 비용" 고려에서 "전체 수명주기 가치" 평가로 전환되었습니다.
기술 협력 혁신:국내 기술팀은{0}}고객의 특정 공정 조건(가스 환경, 온도 곡선, 주파수 매개변수 등)을 기반으로 재료 구성을 미세 조정하여 맞춤형 솔루션을 제공할 수 있습니다. 이러한 수준의 심층적인 협력은-해외 공급업체가 제공하기 어렵습니다.