Shangci Shi 교수 : 반도체 장비를위한 고성능 알루미나 세라믹-제조 기술
중국의 반도체 산업의 "ChokePoint"기술은 재료의 관점에서 기술 자급 자족 .를 극복 해야하는 중요한 병목 현상을 나타냅니다. 고급 세라믹은 특히 급성 도전 과제-코어 반도체 제조 과정과 같은 열도, 상피 전도도, 기분자, 기복, 기복, 기복, 기복 및 ION 수정 공정을 제조합니다. 확장, 높은 기계 강도 및 강성 .
실리콘 카바이드 (SIC), Cordierite 및 알루미늄 질화물 (ALN)을 포함하여 다양한 고급 세라믹스는 특정 응용 분야에서 .이지만 고성능 알루미나 세라믹스는 뛰어난 비용 성능 비율로 인해 반도체 장비에서 우세한 재료로 등장하여 산업에서 가장 널리 사용되었습니다. 오늘 .
그러나 반도체 산업의 엄격한 성능 요구 사항을 충족하면 공식 최적화, 프로세스 정제, 장비 기능, 원자재 품질 (e. g ., 파우더 및 첨가제)을 포함한 여러 상류 문제가 발생합니다. 공급 업체는 혁신 기회를 동시에 만들면서 . 반도체 장비에서 세라믹 구성 요소의 적용 요구 사항을 해결하기 위해 원료 특성에 대한 자세한 소개, 프로세스 형성, 소결 기술 및 고성능 알루미나 세라믹스를위한 고성능 알루미나 세라믹을 제조하기위한 정밀 가공 방법에 대한 자세한 소개를 제공합니다. 반도체 장비에서 Shangci Shi 교수는 중국의 반도체 장치에 대한 국내 세라믹 구성 요소의 개발 동향을 제시합니다. .
기술 분석 및 산업 관점을 결합한이 통찰력있는 토론은 알루미나 세라믹 R & D, 장비 제조 및 국내 대체에 대한 새로운 아이디어와 실용적인 지침을 제공 할 것으로 예상됩니다 ({0}}
이러한 발전은 재료 혁신이 어떻게 차세대 반도체 제조 기능을 가능하게하는 동시에 외국 공급 업체에 대한 의존도를 줄이는 동시에 . 이러한 특수한 세라믹 솔루션의 성공적인 개발은 분말 생산 업체에서 장비 OEM 및 최종 사용자에 이르기까지 전체 공급망에 대한 긴밀한 협력이 필요합니다.