최근 국내 재료 과학 및 기술 기업은 99.999%의 순도를 갖는 새로운 유형의 실리콘 카바이드 세라믹 재료를 성공적으로 개발했으며,이 돌파구는 반도체 제조 장비의 성능과 신뢰성을 크게 향상시킬 것입니다. 반도체 프로세스 노드가 계속 줄어들면서 주요 부품 및 재료 요구 사항의 순도가 점점 엄격 해지고 있습니다. 국내 반도체 장비의 업그레이드를위한이 기술 혁신은 중요한 재료 지원을 제공합니다.
기술 혁신 하이라이트 :
1. Ultra-High 순도 제어 : 금속 불순물 함량은 혁신적인 증기 증착 공정 및 정제 기술을 통해 0.
2. elexcellent 열 성능 : 270W/mk의 열전도율로 1000도 안정적인 성능.
3. 실증적 부식 저항 : 강산, 강한 염기 및 혈장 부식 환경에 대한 내성.
반도체 장비 애플리케이션 장점 :
1. 장비를 시작 : 금속 오염을 줄이고 에칭 균일 성을 향상시키기 위해 공동 안감 재료로 사용됩니다.
2. 에피 택셜 성장 : 에피 택셜 층의 품질을 보장하기 위해 트레이 및베이스로 사용됩니다.
3. 이온 임플란트 : 전통적인 석영 구성 요소를 대체하고 장비 유지 보수 간격을 확장합니다.
CeramicStimes의 전문가는 "반도체 제조업은 더 미세한 공정 노드로 이동하고 있으며, 고급 실리콘 카바이드 세라믹은 차세대 장비의 핵심 재료가 될 것입니다.이 획기적인이 돌파구는 반도체 장비에 대한 수입 재료에 대한 중국의 의존도를 효과적으로 줄일 것입니다."
현재이 자료는 주요 국내 반도체 장비 제조업체의 검증 테스트를 통과했으며 2024 년 4 분기에 대량 생산을 달성 할 것으로 예상됩니다. 5G 및 인공 지능과 같은 신흥 기술의 빠른 개발로 고급 실리콘 카바이드 세라믹에 대한 시장 수요는 계속 증가 할 것으로 예상되며, 2026 년까지 5 억 유전자가 초과 될 것으로 예상됩니다.
비즈니스 역학 :
CeramicStimes는 5 억 위안을 투자하여 특별 생산 라인을 구축했으며, 프로젝트 연간 생산 능력이 최대 200 개, 000 조각의 완료는 국내 반도체 장비 제조업체의 요구를 효과적으로 충족시킬 것입니다. 동시에, 기업은 다수의 연구 기관과 협력하여 재료 특성을 더욱 최적화하고보다 반도체 장비 특수 부품 솔루션을 개발하고 있습니다.
이 기술 혁신은 국내 고순도 실리콘 카바이드 세라믹의 블랭크를 채울뿐만 아니라 중국의 반도체 장비에 대한보다 독립적 인 제어는 중요한 재료 보장을 제공하며 반도체 산업 체인의 현지화 프로세스를 강력하게 촉진 할 것입니다.
