제품 설명
세라믹 엔드 이펙터는 알루미나 (일반적으로 알루미나 세라믹)로 만들어진 로봇 암 또는 구조적 구성 요소이며 원형 크로스 - 섹션을 갖습니다. 이 설계는 재료 특성과 지오메트리의 장점을 결합하여 특정 응용 분야에서 탁월합니다.
세라믹 엔드 이펙터는 반도체 장비에서 웨이퍼 처리를위한 끝 - 이펙터이며, 일반적으로 높은 - 순도 알루미나, 실리콘 카바이드 및 기타 세라믹 재료로 만들어졌습니다. 핵심 기능은 진공 또는 고온에서 웨이퍼를 정확하게 파악하고 전달하여 오염 - 자유롭고 효율적인 프로세스를 보장하는 것입니다.
둥근 세라믹 암 세라믹 경도 HRA 91 이상, 내마모성은 금속 물질을 훨씬 능가하고, 산, 알칼리 및 부식성 가스에 저항 할 수 있으며, 반도체 습식 공정에 적합하며, 열 팽창 계수는 20도에서 2200도 안정적인 작업 환경 일 수 있습니다. 금속 팔 무게와 비교하여 비 - 웨이퍼의 파괴적 처리를 실현하기 위해 진공 흡착을 통해 공기 구멍 및 환기 슬롯의 내부 설계는 가벼워서 기계적 부하를 줄입니다.
세라믹 엔드 이펙터는 반도체 제조 산업에서 웨이퍼 다이 싱, 에칭 및 코팅 공정의 자동 처리를 위해 사용될 수 있습니다. 의료 기기 산업의 수술 로봇에서 높은 정밀 작동이 필요한 시나리오에서. 화학 및 식품 가공 산업에서, 부식성에 대한 수요가 높은 생산 공정에서.
둥근 세라믹 암의 핵심 장점은 알루미나 세라믹 (내마모성, 부식성, 단열재, 단열재, 고온 안정성, 바이오 - 불활성, 청결)의 우수한 특성을 조합하여 라운드 교차 (1}} 섹션의 우수한 기계적 및 공간적 특성을 갖는 - 섹션의 우수한 기계적 및 공간적 특성의 조합입니다. 이 조합은 특히 반도체 제조, 화학 물질, 의료 기기, 식품 가공, 특정 유형의 로봇 공학 (깨끗한 객실, 부식성) 및 과학기구에서 내마모성, 부식, 단열, 고온, 깨끗한 환경 및 응용 시나리오에 매우 경쟁력있는 선택이됩니다. 선택은 Brittleness 및 비용 요인에 대해 평가해야합니다.
Ceramicstimes의 훌륭한 전문가 R & D 교수 및 의사 팀은 고급 세라믹 준비 및 가공 기술을 보유하고 있으며, 분말 제형 및 처리, 몰딩, 소결, 정밀 가공 및 정밀 분쇄에서 고급 세라믹 재료 제조에서 세계 최고의 주요 프로세스를 마스터했습니다. 전문가 연구 : 질화물, 산화물, 탄화물 및 복합 세라믹과 같은 고급 세라믹 재료; 30 개 이상의 중국 특허에 신청했습니다. 도면에 따라 맞춤화 할 수 있으며 제품은 전 세계 50 개 이상의 국가 및 지역에 널리 판매됩니다.
| 제품 이름 | 세라믹 엔드 이펙터 |
| 재료 | 알루미늄 산화물 물질 |
| 색상 | 고객의 요구 사항에 따라 사용자 정의합니다 |
| 크기 | 고객의 요구 사항에 따라 사용자 정의합니다 |
| 가공 정확도 | ± 0.001mm |
| 포장 | 상자 /팔레트 /목재 케이스 (클라이언트 요구 사항에 따라) |
| 배달 시간 | 3 일 이내에 표준 제품 - |
| 아이템 디자인 | 클라이언트의 그림이나 샘플에 따르면 |
| 특징 | 양질의 품질, 저렴한 가격, 여러 공장, 귀하의 위치에 가장 가까운 제품을 기준으로 제공합니다. |
| 애플리케이션 | 산업 세라믹 |
| 자격증 | ISO, CE |
세라믹 용기 클램프 입의 장점
- 탁월한 내마모성 : 알루미나 세라믹은 매우 어렵습니다 (9 개는 Mohs 규모에서, 두 번째는 다이아몬드에 이어).
ARM, 특히 관절이나 접촉 영역에서 반복 마찰과 마모를 견딜 수 있으며 서비스 수명을 크게 확장하고 유지 보수 및 교체 빈도를 줄일 수 있습니다. - 매우 높은 부식 저항성 : 산화 알루미늄은 대부분의 산, 알칼리, 소금 용액 및 유기 용매에 매우 저항력이 있습니다. 부식 또는 오염 입자없이 화학적 부식성 환경 (예 : 화학적, 반도체 제조, 전기 도금, 생체 의학)에서 사용하기에 특히 적합합니다.
- 우수한 전기 절연 : 산화 알루미늄은 훌륭한 절연체입니다.
현재 전도를 피해야하는 응용 분야, 정전기 방전이 방지되거나 고전압 분리가 필요한 경우 (예 : 반도체 장비, 전자 어셈블리, 높은 - 전압 테스트 장비).
우리에 대해
도자기 성능 매개 변수
| 숫자 | 성능 | 단위 | ||||||||
|
95 도자기 |
97 도자기 |
99 도자기 |
995 도자기 |
997 도자기 |
지르코니아는 알루미나를 강화했습니다 | 알루미나 강화 지르코니아 | 지르코니아 | |||
| Al2O3 | Al2O3 | Al2O3 | Al2O3 | Al2O3 | zta | ATZ | 지르코니아 | |||
| 1 | 훌륭함 | 95% | 97% | 99% | 99.5% | 99.7% | ||||
| 2 | 밀도 | G/CM3 | 3.7 | 3.8-3.85 | 3.85 | 3.9 | 3.92 | 4.0~4.3 | 5.25보다 크거나 동일합니다 | 6.00~6.10 |
| 3 | 굽힘 강도 | MPA | 304 | 320 | 340 | 370 | 400 | 700 | 650보다 크거나 동일합니다 | 1100보다 크거나 동일합니다 |
| 4 | 골절 강인성 | MPA · M1/2 | 4 | 4.5 | 5.6-6 | 5.6-6 | 5.6-6 | 7 | 7보다 크거나 동일합니다 | 8 |
| 5 | 유전 상수 | εR (20도, 1MHz) | 9.0 | 9.2 | 9.5 | 9.7 | 9.8 | 9.2 | 9.2 | 10.6 |
| 6 | 경도 | GPA | 12.8-15 | 15 | 15-16 | 16.3 | 16.3-18 | 13 | 14.5 | 15 |
| 7 | 경도 | HRC | 73-79 | 79 | 79-80 | 81 | 81-83 | 76 | 78 | 79 |
| 8 | 부피 저항성 | ω · cm (20도) | 10 13 | 10 14 | 10 14 | 10 14 | 10 14 | 10 14 | 10 14 | 10 14 |
| 9 | 탄성 계수 | GPA | 320 | 350 | 330 | 380 | 380 | 300 | 280 | 220 |
| 10 | 열 팽창 계수 | ×10-6/k | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 7.6 | 5.4-8.4 | 8.3 | 8.5 | 10.2 |
| 11 | 압축 강도 | MPA | 1910 | 2100 | 2210 | 2300 | 2300 | 2400 | 2450 | 2500 |
| 12 | 찰과상 | g/cm2 | 1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.01 |
| 13 | 열전도율 | w/m × K (20도) | 20 | 24-27 | 34 | 35 | 35 | 27 | 37 | 27 |
| 14 | 포아송의 비율 | / | 0.22 | 0.22 | 0.22 | 0.22 | 0.22 | 0.25 | 0.26 | 0.3 |
| 15 | 절연 강도 | kv/mm | 27 | 28 | 28 | 30 | 30 | 30 | 30 | 32 |
| 16 | 온도 | 도 | 1520-1600 | 1650 | 1650 | 1650 | 1700 | 1800 | 1650 | 1520 |
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