질화알루미늄-산화알루미늄 세라믹 진공 흡입 컵

세라믹 진공 척은 단일 세라믹 소재로 제작되지 않고 대신 다른 소재와 결합된 고성능 구조용 세라믹을 기반으로 구축된 시스템으로 구성됩니다...{0}}

제품 설명

세라믹 진공 척은 단일 세라믹 소재로 제작되지 않고 대신 다른 소재와 결합된 고성능 구조용 세라믹을 기반으로 구축된 시스템으로 구성됩니다.-

알루미나 세라믹(Al2O₃): 가장 일반적으로 사용되며 높은 비용- 효율성을 제공합니다. 뛰어난 내마모성, 전기 절연성, 기계적 강도를 갖추고 있어 대부분의 범용-용도에 적합합니다.
질화알루미늄 세라믹(AlN): 매우 높은 열 전도성과 실리콘과 일치하는 열팽창 계수가 특징입니다. 웨이퍼 본딩, 리소그래피, 에칭 등 신속하고 균일한 가열/냉각이 필요한 반도체 제조 공정에 주로 사용됩니다.
실리콘 카바이드 세라믹(SiC): 모든 후보 재료 중에서 가장 높은 강성(탄성률)과 열 전도성을 가지며 매우 낮은 열팽창 계수를 갖습니다. 탁월한 평탄도와 열 안정성을 요구하는 극한 용도에 적합하지만 가장 비싼 옵션이기도 합니다.

Ceramic Vacuum Chuck

제품 성능

세라믹 진공 척은 탁월한 기밀성을 보여줍니다. 세라믹 기판 내의 내부 채널과 세라믹과 금속 구성요소 사이의 밀봉된 인터페이스를 포함한 전체 진공 회로는 엄격한 기밀성 표준을 충족해야 합니다. 테스트에는 일반적으로 매우 낮은 누출률(예: < 1x10⁻⁹ Pa·m³/s 이하)을 요구하는 헬륨 질량 분광계 누출 감지기가 사용됩니다.
높은 경도 및 내마모성: 높은 모스 경도는 긁힘에 강하여 -장기적인 표면 정밀도와 연장된 서비스 수명을 보장합니다. 예를 들어, 알루미나 세라믹은 경도가 다이아몬드와 탄화규소에 이어 두 번째로 높습니다.
고강성(High Modulus of Elasticity): 변형이 최소화됩니다. 진공 흡입력 하에서 그리퍼 자체는 무시할 만큼의 굽힘이나 뒤틀림을 나타내므로 리소그래피와 같은 나노 규모 공정에 중요한 작업물의 절대적인 평탄도를 보장합니다-.

ceramicstimes performance parameter

제품 응용

지속적인 수요 증가 및 재료/설계 다양화: 반도체 산업이 더 큰 웨이퍼 크기와 더 미세한 공정 기술로 전환함에 따라{0}}오염 제어 및 균일한 유지력에 대한 요구 사항이 거의 까다로워졌습니다. 이로 인해 99.99% 알루미나 세라믹과 같은 초-고순도- 재료로 만든 다공성 세라믹 진공 척에 대한 수요가 계속해서 증가할 것입니다.
기술 통합 및 인텔리전스: 미래의 세라믹 진공 척은 단순한 그리핑 도구를 뛰어넘을 것입니다. 여기에는 다공성 척 테이블 전체에 걸쳐 흡입력과 진공 분포를 실시간으로 모니터링하기 위한 내장 센서가 통합됩니다.{1}} 머신 비전 시스템 및 로봇 팔과 긴밀하게 통합되어 지능형 그리핑 시스템을 형성합니다. 여러 개의 또는 불규칙한 모양의 공작물을 동시에 처리하기 위해 분리된 진공 영역을 갖춘 보다 복잡한 영역-제어 다공성 세라믹 진공 척을 개발합니다.
재료 및 공정 혁신: 강화된 인성, 열 특성 또는 맞춤형 다공성을 갖춘 복합 다공성 세라믹 재료를 개발합니다. 내부 채널과 최적화된 기공 구조를 갖춘 구조적으로 복잡하고 통합된 다공성 척을 생산하기 위해 고급 제조 기술을 사용하여 제조 주기를 단축할 것입니다.
응용 분야는 크게 확장될 것입니다. 현재의 전자 제조 핵심을 넘어 항공우주(복합 재료 또는 광학 부품 보관용), 신에너지 차량(배터리 셀 또는 연료 전지 부품 취급용), 의료 기기(평평한 바이오칩 또는 임플란트 표면용), 고급 광학과 같은 고부가가치 부문으로 이동합니다.

선택 이유

우리 회사는 국가 하이{0}}기술 기업으로 인정받았으며 '저명 학자들의 고향'으로 알려진 소흥시에서 선도적인 인재 프로젝트입니다. 우리는 다음 분야의 전문가와 교수 및 박사로 구성된 뛰어난 R&D 팀을 자랑합니다. - 탄화규소(SiC) - 고-순도 탄화규소 - 탄화붕소(B₄C) - 다이아몬드-유사 탄화규소(D-SiC) - 산화 이트륨(Y2O₃) - 알루미나(Al2O₃) - 질화알루미늄(AlN) 및 기타 고급 세라믹 재료 및 구조 부품.

우리는 일관성을 보장하기 위해 ISO 9001 품질 관리 시스템을 엄격하게 준수합니다.