제품 설명

반도체 세라믹 노즐은 반도체 웨이퍼 제조 장비(식각기, 화학 기상 증착 시스템 및 이온 주입기의 경우)에서 중요한 정밀 부품 역할을 합니다. 이들의 주요 기능은 공정 가스(또는 반응 가스)와 플라즈마를 정확하게 안내, 분배 및 제어하여 특정 흐름 패턴 및 에너지 상태에서 실리콘 웨이퍼 표면과 상호 작용하도록 지시하는 것입니다. 이를 통해 박막 증착, 패턴 식각, 표면 수정 등의 공정이 가능해집니다.-

Semiconductor Ceramic Nozzle

제품 성능

탁월한 내마모성 및 연장된 사용 수명: 세라믹 소재는 경도가 매우 높아(예: 995 알루미나 세라믹은 Hv1500을 초과하고 지르코니아 세라믹도 마찬가지로 우수함) 포토레지스트 및 연마 용액과 같은 슬러리의 고체 입자로 인한{4}}장기간 마모에 효과적으로 저항합니다.
뛰어난 화학적 내식성: 포토레지스트, 강산/알칼리 세척액, 반응성 가스 및 기타 부식제의 용제에 대한 뛰어난 내성을 나타내며 장기간 사용해도 녹이 슬거나 화학적으로 분해되지 않습니다.
탁월한 열 및 치수 안정성: 열팽창 계수가 매우 낮은 세라믹은 공정 온도 변동에도 마이크론- 또는 나노미터{1}} 수준의 기공 모양과 치수를 일관되게 유지합니다.
높은 표면 마감 및 낮은 오염도: 세라믹 소결체는 정밀 세라믹 가공을 통해 거울과 같은{0}} 마감을 얻을 수 있습니다. 표면은 입자 접착에 강하고 비자성이며-청소가 쉽습니다.
우수한 절연성 및 기능적 특성: 세라믹은 우수한 절연체입니다. 알루미나는 뛰어난 절연 성능을 제공하며 일반적으로 알루미나 절연체 및 ZrO2 절연 세라믹 플레이트에 사용됩니다. 알루미나 질화물 세라믹은 또한 높은 열 전도성을 나타내어 특별한 온도 제어 요구 사항이 있는 응용 분야에 적합합니다.

cermicstimes performance parameter